4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V) 和超快速脈沖式I-V 特性。作為參數分析儀，4200A-SCS 加快了半導體、材料和工藝開發速度。

4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測量和分析功能。憑借嵌入式測量專業知識和數百項隨時可以投入使用的應用測試，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程，快速而又滿懷信心。

4200A-SCS 參數分析儀可以根據不同用戶需求進行靈活配置，不管是現在還是未來，都可以隨時對系統進行升級。

主要性能指標

I-V 源測量單元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模塊
• 100 fA測量分辨率
• 選配前端放大器提供了 10 aA測量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測量
• 四象限操作
• 2 線或 4 線連接

C-V 多頻率電容單元(CVU)

• AC 阻抗測量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
• ± 30 V (60 V差分)內置DC偏置源，可以擴展到± 210 V(420 V 差分)
• 選配 CVIV 多通道開關，在 I-V 測量和 C-V 測量之間簡便切換脈沖式I-V 超快速脈沖測量單元(PMU)
• 兩個獨立的或同步的高速脈沖 I-V 源和測量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采樣率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬態波形捕獲模式
• 任意波形發生器 Segment ARB® 模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率

高壓脈沖發生器單元(PGU)

• 兩個高速脈沖電壓源通道
• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
• 任意波形發生器 Segment ARB®模式，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率I-V/C-V 多通道開關模塊 (CVIV)
• 在 I-V測量和 C-V 測量之間簡便切換，無需重新布線或抬起探針
• 把 C-V測量移動到任意端子，無需重新布線或抬起探針遠程前端放大器/ 開關模塊(RPM)
• 在 I-V 測量、C-V 測量和超快速脈沖 I-V 測量之間自動切換
• 把 4225-PMU的電流靈敏度擴展到數十皮安
• 降低電纜電容效應

 標配附件

4200A-SCS

參數分析儀主機
1 條236-ILC-3 互鎖電纜, 3 米(10 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。

4200-SMU

中等功率源測量單元, 適用于4200A-SCS, 100 mA ~ 100 fA, 200 V ~ 0.2mV, 2 W

如果配置一個前端放大器：

4200-PA 標配所有電纜。參見下面的4200-PA。

如果沒有配置前端放大器：

2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。

4210-SMU

高功率源測量單元，用于4200A-SCS，1 A ~ 100 fA，200 V ~ 0.2 μV，20 W

如果配置一個前端放大器：

4200-PA 標配所有電纜。參見下面的4200-PA。

如果沒有配置前端放大器：

2 條4200-MTRX-2 迷你超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)。

4200-PA

遠程前端放大器選項，用于4200-SMU 和4210-SMU，把SMU 擴展到0.1 fA 分辨率
1 條4200-RPC 遠程前端放大器電纜，2 米(6.6 英尺)
2 條4200-TRX-2 超低噪聲三軸電纜，2 米(6.6 英尺)

4210-CVU

電容- 電壓(C-V) 模塊4 根CA-447A SMA 電纜, 公頭到母頭, 100W, 1.5m (5 英尺) • 4 個CS-1247 母頭SMA 到公頭BNC 適配器
2 個CS-701 BNC T 型適配器• 1 個TL-24 SMA 扭矩扳手

4225-PMU

超快速脈沖測量單元4 根SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
2 個SMA 到SSMC Y 電纜組件, 6 英寸

4225-RPM

遠程預放/ 開關模塊1 根SMA 到SMA 50W 電纜, 20cm (7.9 英寸)
1 個三同軸到BNC 適配器
1 個BNC 到SMA 適配器
1 條RPM 電纜, 2.1m (6.9 英尺)

4220-PGU

高電壓脈沖發生器(4) SMA 到SMA 50W 電纜, 2m (6.6 英尺)
(2) SMA 到SSMC Y- 電纜組件, 6 英寸

4200A-CVIV

I-V，C-V 多功能開關模塊2 個4200A-CVIV-SPT SMU 直傳模塊
2 個214543500 插槽封堵模塊
1 條174691500 USB 電纜
注：對通過4200A-CVIV 連接的每個SMU，都要求一個或4200A-CVIV-SPT 或一個4200-PA。