S530參數測試系統采用了成熟的源和測量技術，可滿足工藝控制監測、工藝可靠性監測以及器件特性分析所需的全部直流和C-V測量。

主要特點:

• 針對各種產品混合的環境而優化設計，這種環境下的高度靈活性和測試規劃的快速制定至關重要
• 可選擇小電流和高電壓系統配置
  – 小電流配置支持測量小電流特性，例如亞閾值漏流、柵極漏流等
  –高電壓配置專門針對監測 GaN、SiC和 Si LDMOS 功率器件的工藝而優化設計
• 兼容常見的全自動探針臺
• 脈沖產生、頻率測量，以及低電壓測量的儀器選件
• 接線引出（Cabled-out）測試儀配置最大限度地提高了探針臺接口的靈活性，并擴展了電壓量程
  –兼容吉時利的9139A型探針卡適配器
  –支持現有5英寸探針卡庫的重用
• 久經考驗的儀器技術確保在實驗室和工廠環境下均可獲得高測量準確度和重復性

針對高混合測試環境優化設計

S530參數測試系統針對必須面對各種器件和技術的生產和實驗室環境優化設計，具有測試規劃靈活性、自動測試功能、探針臺集成以及測試數據管理能力。這些測試解決方案的設計凝聚了吉時利為客戶提供各種各樣的標準和定制參數測試系統的寶貴經驗。

簡單的軟件遷移和高度的硬件重用

S530系統的設計加速和簡化了系統啟動過程，并實現了現有測試資源的最大重用。例如，控制這些系統的軟件兼容很多新出和遺留的自動探針臺，所以就省去了購買新設備的費用。此外，S530的接線引出（cabled-out）配置通常允許繼續使用現有的探針卡庫。多項可選的應用服務，能夠幫助用戶充分利用現有探針儀和探針卡投資的全部價值。吉時利還可幫助用戶加快開發新的測試配置，或將現有測試配置轉換用于S530系統。

半導體行業強大的標準參數測試系統

提供兩種不同的系統配置，能夠滿足不同的參數測試應用環境。S530小電流系統可配置2至8路源測量單元（SMU）通道，具有亞皮安級測量分辨率，并為探針卡提供了全面的小電流保護，使其非常適合于亞微米MOS硅工藝的特性分析。S530高電壓系統可配置3至7路SMU通道，能夠源出高達1000V的電壓，可用于汽車電子和功率管理器件所需的各種擊穿和漏流測試。

全部S530系列系統都配備有大功率SMU，在200V和20V量程均可提供高達20W源出或吸入能力，這種功率水平對于當今移動設備中普遍存在的大功率器件及電路的完整特性分析至關重要。無論是測試LDMOS Si 還是GaN BJT的應用，這種大功率能力都提供了對器件性能的更大可見性。這意味著S530系統既可應對大功率器件測試，又不會影響監測主流器件工藝所需的小電流亞皮安靈敏度。相比之下，競爭參數測試系統卻受限于中等功率的2W SMU儀器，因此不能與S530系統的應用范圍相提并論。

完全開爾文標準配置

由于接口電纜和通路上電壓降的原因，往往高于幾個毫安的電流就會導致測量 誤差，為預防這種測量完整性的下降，小電流和高電壓S530系統在探針卡均提供了完全開爾文測量配置（也稱為遠端電壓檢測）。完全開爾文測量對于確保S530系統中大功率SMU儀器的20W能力的測量準確度尤其重要。

強大的高電壓參數測試系統

S530高電壓半導體參數測試系統是能夠在多達24個引腳上實現完全開爾文高電 壓性能的參數測試儀，這種能力對于當今高功率器件的特性分析來說是無價之寶。系 統采用了可源出1000V@20mA（最大20W） 的高電壓SMU。利用兩個高電壓通路，可進行直接高邊電流測量（采用單個SMU源出和測量DUT的高邊）或更高靈敏度低邊小電流測量（采用一個SMU源出高電壓至DUT的高邊，另一個SMU用于低邊0V并測量電流）。

系統架構

每套S530系統配置由5層組成：

• 儀器層 – 除了SMU儀器，S530還提供脈沖產生或進行C-V測量、頻率測量，或低電壓測量的選件。
• 通路層 - S530系統提供高保真度信號通路，測試期間可動態重新配置，使任何儀器均可連接至任何引腳或引腳組。
• 電纜接口層 - 全部系統互連均采用完全屏蔽和保護的三軸低漏流、高電壓電纜，確保更高的測量完整性。
• 探針卡適配器 （PCA）層 - 該層提高了探針卡的屏蔽和保護，確保測量完整性。此外，PCA為需要直接連接探針卡及必須旁路信號通路開關矩陣的儀器提供了輔助輸入。
• 探針卡層 - 該層包括探針卡供應商提供的定制卡。

信號通路

每套S530測試系統的核心是一組通過系統開關，直接連接儀器和測試引腳之間 信號的高保真度信號通路。S530具有8條高保真度通路，可用于動態連接儀器和引腳。例如，同時可將最多8個SMU儀器連接至任意引腳（或多個引腳）。S530小電流系統采用開關矩陣，在全部8條通路上提供一致的性能。S530高壓系統采用帶特定通路的開關矩陣，提供高電壓/小漏流測量，以及C-V測量。請參閱7174A型和 7072-HV數據表獲取有關信號通路的更多細節。